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NMC 508系列
8英寸等离子体金属刻蚀机
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公司名称：
业务联系人：成晓艳
NMC 508系列 8英寸等离子体金属刻蚀机
NMC 508系列 Metal Etcher
金属刻蚀机主要用于6/8英寸金属干法刻蚀工艺。该机台为多腔室集群设备，能够进行全自动并行工艺处理。产品通过独创设计可以实现超长MTBC。Al、W等刻蚀使用同种配置，有效节省维护成本。广泛应用于8寸IC、功率器件、化合物半导体等领域。
- 设备特点
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