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NMC 612C

12英寸硅刻蚀机

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NMC 612C 12英寸硅刻蚀机
NMC 612C 12 Inch Silicon Etcher
NMC612C应用于12英寸干法刻蚀工艺,深耕成熟Logic、CIS、BCD以及Power等领域,已在客户端稳定量产十年,有成熟BKM。主要应用为浅沟槽隔离刻蚀,栅极刻蚀、侧墙刻蚀等制程,具有丰富的工艺调试手段、较高的刻蚀均匀性以及量产稳定性。
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