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Surefill W620
金属钨膜沉积系统
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业务联系人：马宁
Surefill W620 金属钨膜沉积系统
Surefill W620 CVD System
Surefill W620产品是一款针对金属钨薄膜的化学气相沉积设备，适用于集成电路、功率半导体等领域，可实现对8英寸晶圆的全自动化工艺处理。该系统采用标准化的传输系统和模块化的工艺腔室设计，配置灵活、工艺窗口宽、功能集成度高，各项工艺技术指标均达到国际先进水平。
- 设备特点
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- 产品应用
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