LED芯片刻蚀机是应用于LED红黄、蓝绿芯片刻蚀工艺的等离子体干法刻蚀机，配置双反应腔、托盘式、多片Tray in Tray out全自动作业。设备适用于Mini LED、Micro LED多种材料刻蚀，覆盖蓝绿、红黄芯片刻蚀工艺。
