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NMC 612M

12英寸氮化钛金属硬掩膜刻蚀机

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NMC 612M 12英寸氮化钛金属硬掩膜刻蚀机
NMC 612M 12 Inch TiN Metal HardMask Etcher
NMC612M 12英寸氮化钛金属硬掩膜刻蚀机是应用于40-28nm制程集成电路的金属干法刻蚀设备，用于TiN，HR，M0C，HK等刻蚀工艺。
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