Hesper E230A 为单片双腔常压硅外延设备，主要用于12英寸硅外延工艺。该机台能够实现从薄膜外延的厚膜外延的兼容。通过红外灯分区加热系统和温控系统，可以实现温场的精准控制；并配合独创的进气结构，使得外延过程流场和温场均匀性较优，获得优异的工艺指标，达到行业先进水平。
