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SC3080A

12英寸单片清洗设备

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SC3080A 12英寸单片清洗设备
SC3080A 12 Inch Single Wafer Clean Tool
用于集成电路、先进封装、新兴应用等领域12英寸后段清洗工艺。稳定的传输系统保障高效工艺产出；精密的腔室设计支持高效的化学品回收效率；可配备伯努利卡盘，有效保护晶圆正面。
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