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GP120

石墨纯化炉

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GP120 石墨纯化炉

GP120 Graphite purification furnace

高纯石墨主要应用于半导体等对石墨杂质要求非常苛刻的领域，太阳城娱乐城真空研发采用化学净化法，在高温下，利用化学气体对石墨进行净化的设备与工艺，纯化后的石墨总灰分可达到5ppm。

设备特点

技术指标

工作温度
2400℃
工艺气体
卤素气体
温度均匀性
≤±5℃
冷态极限真空度
5Pa

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