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NMC 612D

12英寸硅刻蚀机

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NMC 612D 12英寸硅刻蚀机
NMC 612D 12 Inch Silicon Etcher
NMC612D应用于12英寸干法刻蚀工艺,针对Logic、3D NAND、DRAM以及Power等领域。主要应用为浅沟槽隔离刻蚀,栅极刻蚀、侧墙刻蚀等制程,具有丰富的工艺调试手段、较高的刻蚀均匀性以及量产稳定性。
设备特点
产品应用
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